När det gäller halvledarlitografi (även kallad fotolitografi) är våra stenar silikon wafers och våra mönster är skrivna med en ljuskänslig polymer som kallas fotoresist.
Vad menar du med fotolitografi?
Photolithography, även kallad optisk litografi eller UV-litografi, är en process som används vid mikrotillverkning för att mönstra delar på en tunn film eller huvuddelen av ett substrat (även kallad en wafer). … Den här metoden kan skapa extremt små mönster, ner till några tiotals nanometer i storlek.
Varför används litografi i halvledartillverkning?
Fotolitografi är en process som används vid mikrotillverkning för att överföra geometriska mönster till en film eller ett substrat. Geometriska former och mönster på en halvledare utgör de komplexa strukturerna som gör det möjligt för dopämnen, elektriska egenskaper och ledningar att slutföra en krets och uppfylla ett tekniskt syfte.
Vad är syftet med fotolitografi?
Fotolitografi är en av de viktigaste och enklaste metoderna för mikrotillverkning och används för att skapa detaljerade mönster i ett material. I denna metod kan en form eller ett mönster etsas genom selektiv exponering av en ljuskänslig polymer för ultraviolett ljus.
Vad är utrustning för halvledarlitografi?
Halvledarlitografiutrustning används i exponeringsfasen av halvledarchippettillverkningsprocess. … Halvledarlitografiutrustning använder en projektionslins för att reducera kretsmönstret, som är skrivet på en originalplatta som kallas ett riktmedel, och exponera mönstret på en wafer.
