Photolithography används ofta för att producera datorchips. Vid tillverkning av datorchips är substratmaterialet en resisttäckt skiva av kisel. Denna process gör att hundratals chips kan byggas samtidigt på en enda kiselwafer.
Hur går fotolitografi till?
Photolithography använder tre grundläggande processsteg för att överföra ett mönster från en mask till en wafer: belägga, framkalla, exponera. Mönstret överförs till waferns ytskikt under en efterföljande process. I vissa fall kan resistmönstret också användas för att definiera mönstret för en avsatt tunn film.
Varför kallas det fotolitografi?
Semiconductor Lithography (Photolithography) - The Basic Process . Tillverkningen av en integrerad krets (IC) kräver en mängd olika fysikaliska och kemiska processer som utförs på ett halvledarsubstrat (t.ex. kisel). … Ordet litografi kommer från grekiskans lithos, som betyder stenar, och graphia, som betyder att skriva.
Varför är litografi viktigt?
Litografi är processen att överföra mönster av geometriska former i en mask till ett tunt lager av strålningskänsligt material (kallat resist) som täcker ytan på en halvledarskiva. Figur 5.1 illustrerar schematiskt den litografiska processen som används vid IC-tillverkning.
Vilken är den mest använda metoden inom litografiska metoder?
Optisklitografi är en fotonbaserad teknik som består av att projicera en bild i en ljuskänslig emulsion (fotoresist) belagd på ett substrat såsom en silikonskiva. Det är den mest använda litografiprocessen i högvolymtillverkning av nanoelektronik av halvledarindustrin.
