I en obalanserad magnetronförstoftning dras plasman också upp i substratet, och argonjoner bombarderar också den växande tunna filmen. … Närvaron av elektroner runt substratet leder till jonisering av neutrala gasatomer och penetration av plasma i denna region.
Varför sprattlar en magnetron?
Magnetronförstoftning använder ett stängt magnetfält för att fånga elektroner, vilket ökar effektiviteten i den initiala joniseringsprocessen och skapar plasma vid lägre tryck, vilket minskar både bakgrundsgasinkorporering i den växande film och energiförluster i den sputtrade atomen genom gaskollisioner.
Vad kan användas för magnetronförstoftning?
5 Magnetronsputtringsavsättning. Magnetronförstoftning är en höghastighetsvakuumbeläggningsteknik som tillåter avsättning av många typer av material, inklusive metaller och keramik, på lika många typer av substratmaterial genom användning av en speciellt framställd magnetisk fält applicerat på ett diodsputtermål.
Vad är obalanserad magnetronförstoftning med stängt fält?
The Closed Field Obalanserad Magnetron Sputter Ion Plating-systemet, utvecklat av Teer Coatings Ltd, producerar optimerade avsättningsförhållanden som tillåter avsättning av täta, hårda beläggningar med utmärkt vidhäftning. CFUBMSIP-arrangemanget täcks av patent som beviljats Teer Coatings Ltd.
Vad är obalanserad magnetron?
Magnetroner klassificeras vanligtvis som "balanserade" eller "obalanserade". … Om nollpunkten är nära målytan kan elektronerna fly lättare och magnetronen är obalanserad. Obalanserade konstruktioner kan ge hög jonbeskjutning av den tunna filmen samtidigt som avsättningen.
