Intrinsic gettering hänvisar till gettering som involverar föroreningsfångstplatser skapade genom att fälla ut övermättat syre ur kiseln wafern. Utfällningen av övermättat syre skapar kluster som kontinuerligt växer, vilket skapar stress på skivan när detta händer.
Vad är gettering silicon?
Gettering definieras som en process genom vilken metallföroreningar i enhetsregionen reduceras genom att lokalisera dem i förutbestämda, passiva områden av kiselskivan.
Vad är extrinsic gettering?
Extrinsic gettering hänvisar till gettering som använder externa medel för att utveckla skadan eller spänningen i kiselnätet på ett sådant sätt att utökade defekter som behövs för att fånga föroreningar uppstår. Dessa kemiskt känsliga fångstplatser finns vanligtvis på skivans baksida.
Vad är skillnaden mellan intrinsic och extrinsic gettering?
Extrinsic Gettering: Det hänvisar till gettering som använder externa medel för att skapa skadan eller spänningen i kiselgittret på ett sådant sätt att utökade defekter som behövs för att fånga upp föroreningar bildas. … Intrinsic Gettering: Det hänvisar till gettering som använder syre som redan finns i kristallen.
Vad är gettering hur är det användbart i CZ-metoden?
Czochralski-metoden, även Czochralski-tekniken eller Czochralski-processen, är en metod för kristalltillväxt som används för attfå enkla kristaller av halvledare (t.ex. kisel, germanium och galliumarsenid), metaller (t.ex. palladium, platina, silver, guld), s alter och syntetiska ädelstenar.
