Photolithography är en process som används vid mikrotillverkning för att överföra geometriska mönster till en film eller ett substrat. Geometriska former och mönster på en halvledare utgör de komplexa strukturerna som gör det möjligt för dopämnen, elektriska egenskaper och ledningar att slutföra en krets och uppfylla ett tekniskt syfte.
Vad är fotolitografiprocessen?
Photolithography, även kallad optisk litografi eller UV-litografi, är en process som används vid mikrotillverkning för att mönstra delar på en tunn film eller huvuddelen av ett substrat (även kallad en wafer). … I komplexa integrerade kretsar kan en CMOS-skiva gå igenom den fotolitografiska cykeln så många som 50 gånger.
Vilka är mikrotillverkningsprocessen?
Mikrotillverkning är processen för att tillverka miniatyrstrukturer av mikrometerskalor och mindre. … Huvudkoncepten och principerna för mikrotillverkning är mikrolitografi, dopning, tunna filmer, etsning, bindning och polering.
Vad är litografiprocess i halvledare?
Ett halvledarlitografisystem genomför en process där mycket komplexa kretsmönster ritade på en fotomask gjord av en stor glasplatta reduceras med ultrahögpresterande linser och exponeras på ett kiselsubstrat känt somen oblat. …
Vad är litografi i tillverkningsprocessen?
Litografi ärprocessen att överföra mönster av geometriska former i en mask till ett tunt lager av strålningskänsligt material (kallas resist) som täcker ytan på en halvledarskiva. Figur 5.1 illustrerar schematiskt den litografiska processen som används vid IC-tillverkning.
